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PECVD開啟式管式爐系統
關 鍵 詞:PECVD系統,真空鍍膜、納米薄膜材料制備
PECVD進入式管式爐系統在高壓氣系統壓下,加在電感感應線圈的rf射頻磁場,使響應室氣休發生的輝光自放電,在輝光來發電空間區域產生大批量的電商。這電商在磁場的角色下拿到充沛的能力,其一種溫度因素很高,它與氣休團伙相有種碰撞的,使氣休團伙活性。想一想吸出在襯底上,高并發生的檢查是否上響應導出材質膜,副產品從襯底上解吸,隨主空氣由高壓氣系統泵抽走,稱作等鋁離子體開展檢查是否上液相沉(PECVD)。
型       號:PECVD-1200
品       牌:鉅晶
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在(zai)負壓度壓差下(xia),加在(zai)電(dian)(dian)感電(dian)(dian)感的(de)(de)頻(pin)射交變(bian)電(dian)(dian)磁(ci)場,使的(de)(de)反(fan)映(ying)室氣(qi)味(wei)發生(sheng)了輝光(guang)(guang)蓄電(dian)(dian)池放電(dian)(dian),在(zai)輝光(guang)(guang)火力發電(dian)(dian)區(qu)域性呈現多的(de)(de)光(guang)(guang)學。某些光(guang)(guang)學在(zai)交變(bian)電(dian)(dian)磁(ci)場的(de)(de)的(de)(de)作(zuo)用下(xia)換取無憂的(de)(de)能量(liang)消(xiao)耗,其客觀(guan)事物濕度很(hen)高(gao),它(ta)(ta)與氣(qi)味(wei)碳原子(zi)相碰撞試(shi)驗,使氣(qi)味(wei)碳原子(zi)滋(zi)養(yang)。它(ta)(ta)們(men)之(zhi)間吸(xi)附劑在(zai)襯(chen)底上(shang),消(xiao)息隊列生(sheng)了生(sheng)物的(de)(de)反(fan)映(ying)導(dao)出材(cai)質(zhi)(zhi)膜,副終產物從襯(chen)底上(shang)解吸(xi),隨主(zhu)氣(qi)體由負壓度泵抽(chou)走,分為等化合物體增進生(sheng)物氣(qi)質(zhi)(zhi)聯用沉(PECVD)。

PECVD進(jin)入(ru)式管式爐整體由進(jin)入(ru)式管式爐、高(gao)進(jin)口真空團伙泵整體、rf射頻電整體及多節點高(gao)可靠(kao)性(xing)強,精密度數子質量水平手機流量操作整體組(zu)合,是實驗英文室繁(fan)殖貼(tie)膜(mo)納米(mi)材(cai)料,金屬質貼(tie)膜(mo),淘(tao)瓷貼(tie)膜(mo),符合貼(tie)膜(mo)等的理想型挑選(xuan)。

其主要性能和特征 :

1、PECVD具備著基(ji)本性平(ping)均溫度低、磨合傳輸速(su)率快、破(po)乳(ru)質理(li)好(hao)、針孔較少、不(bu)會干裂等;

2、PECVD生(sheng)產技術中(zhong)主要是因為等鐵離子(zi)(zi)體(ti)(ti)中(zhong)高(gao)速(su)的(de)移動的(de)電商碰撞到堿性的(de)作用其(qi)他(ta)汽(qi)(qi)體(ti)(ti)氧氧分(fen)(fen)子(zi)(zi),就使堿性作用其(qi)他(ta)汽(qi)(qi)體(ti)(ti)氧氧分(fen)(fen)子(zi)(zi)轉為英雄碎片或(huo)正(zheng)處于激活卡的(de)形態(tai)特別容易(yi)發生(sheng)作用;

3、使用(yong)頻射(she)等(deng)使有(you)效塑(su)料膜(mo)(mo)分(fen)解成原子(zi)核的混(hun)合氣體(ti),在局(ju)布造成等(deng)鐵陰陽(yang)離(li)子(zi)體(ti),而等(deng)鐵陰陽(yang)離(li)子(zi)體(ti)電學活力性非常(chang)強,很(hen)簡(jian)易產生作用(yong),在基片上累(lei)積出(chu)所能夠(gou)的塑(su)料膜(mo)(mo);

4、高蒸(zheng)空操(cao)作系統由(you)單級旋片(pian)蒸(zheng)空泵(beng)和分(fen)子結(jie)構泵(beng)成分(fen),最多蒸(zheng)空多達0.001Pa;

5、數字1線(xian)(xian)品(pin)質(zhi)人國內用(yong)戶(hu)聯(lian)通(tong)(tong)流(liu)量(liang)調(diao)控系統的(de)是(shi)由(you)多路線(xian)(xian)品(pin)質(zhi)人國內電磁用(yong)戶(hu)聯(lian)通(tong)(tong)流(liu)量(liang)計,人國內用(yong)戶(hu)聯(lian)通(tong)(tong)流(liu)量(liang)展(zhan)示儀等組(zu)成的(de),把握(wo)其他氣體的(de)人國內用(yong)戶(hu)聯(lian)通(tong)(tong)流(liu)量(liang)的(de)精(jing)密(mi)機械精(jing)確測量(liang)和(he)調(diao)控;

6、一(yi)條(tiao)乙炔氣內部管道均(jun)配置高壓電逆止閥,提高操作系統的穩定性性和持(chi)續(xu)平均(jun)性;

7、通過KF怏速法蘭部密封(feng),裝卸貨物便(bian)快捷(jie)鍵;

8、液壓管(guan)路(lu)運用(yong)Swagelok卡(ka)套接入,不漏氣;

9、超溫、過壓時,重新切割高溫電(dian)及(ji)客超聲波流量計進氣,衛(wei)(wei)生使用(yong)衛(wei)(wei)生穩定可靠。

關鍵不同的用途:

普通高校、科(ke)技研究院所廣(guang)泛用于真空系統玻璃鍍膜(mo)、納(na)米(mi)級塑料(liao)保(bao)護膜(mo)相關材料(liao)備制,植物的生長塑料(liao)保(bao)護膜(mo)石墨烯材料(liao),鋁合金塑料(liao)保(bao)護膜(mo),衛(wei)浴陶瓷塑料(liao)保(bao)護膜(mo),和好塑料(liao)保(bao)護膜(mo)等,也可當為(wei)擴容等陰陽離子擦(ca)洗(xi)刻蝕在使用。

技術水平性能:

SKGL-1200

解鎖式管式爐

控溫方案

按(an)照工人智(zhi)慧緩解能力,具備有PID調理、自整(zheng)定實用(yong)功能,并可織造30段調節溫(wen)軟件。

采暖器零件

0Cr27Al7Mo2

業務交流電源

AC220V 50Hz/60Hz

額定值輸出功率

4kw

爐給水管材質

高純石英晶體管

爐管寬度

Φ60/Φ80*1200mm

事情溫差

≤1150℃

比較高高溫

1200℃

恒溫器精度等級

±1℃

控溫區

200mm

回溫強度

≤10℃/min

封閉途徑

304不繡鋼快(kuai)蝶閥法(fa)蘭滾(gun)壓封閉(bi)

ZK-F

碳原子泵(beng)進口真空控制系(xi)統

渦流範圍

0.1-0.001Pa

人體極限真空體

4.0*10^-4Pa

產品設備調試

雙極旋片高壓氣泵(beng)+分子(zi)結構泵(beng)

估測途徑

挽回真空泵計

蒸空規管

熱敏電阻規+電離規

放涼方式

風冷

操作交流電源

AC220V 50/60HZ

抽速

110L/S

rf射頻交流電源體系

頻射耗油率所在范圍內

5~500W

微波射頻速率

13.56MHz±0.005%

噪音分貝

≤55DB

冷卻塔方式

風冷

工作效率溫定度

± 0.1%

HQZ-Ⅳ

混氣操作系統

總流量產品規格

0-200sccm (可通過(guo)客服是需要增加)

規則化

±1.5%F.S

更準度

±1.5%F.S

再次高精準度

±0.2%F.S.

為了響應時

≤8sec

耐沖擊

3MPa

氣路出入口

4管(guan)道(基于朋友(you)的(de)需求(qiu))

針閥

316不銹鋼管

通道

Φ6mm不銹不透鋼(gang)鋼(gang)管

數據接口

SwagelokΦ6mm





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