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PECVD系統
關 鍵 詞:PECVD系統,真空鍍膜、納米薄膜材料制備
核心運用: 髙校、教學研究院所于真空泵電鍍、nm塑料塑料聚酯bopp薄膜和珍珠棉建筑材料制得,滋生塑料塑料聚酯bopp薄膜和珍珠棉石墨烯材料,金屬制塑料塑料聚酯bopp薄膜和珍珠棉,陶瓷制品塑料塑料聚酯bopp薄膜和珍珠棉,黏結塑料塑料聚酯bopp薄膜和珍珠棉等,也可以作為為擴充等化合物的洗滌刻蝕運用。
型       號:PECVD-1200M
品       牌:鉅晶
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PECVD制(zhi)作工藝(yi)中(zhong)根據等(deng)亞鐵陰陽(yang)亞鐵離(li)子(zi)體(ti)(ti)中(zhong)高(gao)健身運動的(de)(de)(de)自動化擠壓到中(zhong)性化化的(de)(de)(de)反映實驗室氣味(wei)團伙,就使中(zhong)性化化反映實驗室氣味(wei)團伙轉變為殘片(pian)或所處(chu)刺激啟動的(de)(de)(de)程序非(fei)常加(jia)容易演(yan)變成反映;借力頻(pin)射等(deng)使還具(ju)有(you)刺激性保(bao)護膜(mo)組合(he)(he)成原(yuan)子(zi)核的(de)(de)(de)實驗室氣味(wei),在線條演(yan)變成等(deng)亞鐵陰陽(yang)亞鐵離(li)子(zi)體(ti)(ti),而等(deng)亞鐵陰陽(yang)亞鐵離(li)子(zi)體(ti)(ti)生物(wu)(wu)靈(ling)活性不強,很非(fei)常加(jia)容易演(yan)變成反映,在基片(pian)上磨(mo)(mo)合(he)(he)物(wu)(wu)出所想法的(de)(de)(de)保(bao)護膜(mo);還具(ju)有(you)通常溫差低、磨(mo)(mo)合(he)(he)物(wu)(wu)波特率快、成膠質量好、針(zhen)孔較少(shao)、不可以裂開等(deng)好處(chu);

PECVD小(xiao)行(xing)拖拽解鎖式管(guan)式爐裝置(zhi)用(yong)拖拽爐體來保證怏速的(de)(de)調節功能溫,手機配置(zhi)各(ge)(ge)不相同的(de)(de)重力作用(yong)裝置(zhi)來提升很好的(de)(de)重力作用(yong)度;同一時間用(yong)多(duo)路(lu)高gps精度服務(wu)質量(liang)總電磁流量(liang)計操控各(ge)(ge)不相同氣態。是科學檢測實驗室生(sheng)長(chang)的(de)(de)保護(hu)膜(mo)(mo)納米材(cai)料,合金保護(hu)膜(mo)(mo),陶(tao)瓷制品保護(hu)膜(mo)(mo),軟型保護(hu)膜(mo)(mo)等的(de)(de)很好決(jue)定。

一般不同的用途:

高職(zhi)院(yuan)校、教育(yu)院(yuan)所(suo)用在真空度電(dian)鍍、nm透(tou)明(ming)膜物(wu)料分離純化(hua),出現透(tou)明(ming)膜納米(mi)材料,彩石透(tou)明(ming)膜,瓷(ci)器透(tou)明(ming)膜,復合(he)材料透(tou)明(ming)膜等,也用做為括(kuo)展(zhan)等化(hua)合(he)物(wu)除污刻蝕選擇。

技藝叁數:

爐體格局

兩層(ceng)爐殼(ke)間(jian)搭配風(feng)冷軟件系統,有效的衡(heng)量塑料外殼(ke)表面(mian)層(ceng)溫;

蜂窩煤(mei)爐(lu)左下(xia)角裝配有兩(liang)個阻(zu)尼滑軌,走動穩步

蜂窩煤爐也可以人工(gong)操作(zuo)從另(ling)(ling)外(wai)一只端滑向另(ling)(ling)另(ling)(ling)外(wai)一只端,達(da)到最快的(de)電加熱和冷卻水

爐蓋可開始,能(neng)夠實時交通分析熱(re)處理加熱(re)的貨品

24v電源

電壓值(zhi):AC220V 50/60Hz;工作功率:4KW

爐管

高純石英晶(jing)體管,炎熱(re)下化學(xue)上的增強性強,耐腐不(bu)銹鋼,熱(re)擴張常數似然函(han)數

規格:Φ60*1250mm

法蘭片及承重

SUS304不銹鋼圓管短(duan)時間卡箍,實現用(yong)高(gao)溫作業“O”型圈(quan)牢(lao)固密封性可得到 高(gao)負壓

同(tong)一(yi)個管接(jie)頭就能到(dao)位法蘭片的相連(lian),放(fang)、取(qu)原物料更(geng)省時方便(bian)

可以調整節的卡箍斜(xie)撐,動(dong)平衡爐管的彎矩(ju)斜(xie)撐

含有進氣、排氣、機械泵(beng)抽(chou)口針閥,KF密封墊圈及管箍女子(zi)組(zu)合

微波加熱操作系統

加水pcb板(ban)用到高質量和金絲0Cr27Al7Mo2,表皮(pi)負荷率高、經久耐操

調溫區厚度:270mm

衡溫區長寬高:100mm

工(gong)作任(ren)務(wu)溫:≤1150℃

上限攝氏(shi)度:1200℃

變多時(shi)延:10℃/min

溫度控制器裝置

的溫度(du)操作選(xuan)用人(ren)工控制自動化(hua)調控能力(li),體現了PID上下調整、自整定(ding)系(xi)統

30段升縮溫環節

紅外測溫電氣元件:N型pt100

衡(heng)溫控制精(jing)度:±1℃

混氣系統性

四路(lu)的(de)品質(zhi)的(de)渦輪人流(liu)量計(ji):數字5界(jie)面顯示、汽體的(de)人流(liu)量自(zi)主控制(zhi)

內(nei)嵌不銹(xiu)鋼材質(zhi)的(de)混氣(qi)箱,每路實驗室(shi)氣(qi)體管道閥門(men)均配備有(you)逆止閥

液壓管路(lu)用(yong)到不銹螺旋鋼(gang)管,標準接口為Φ6卡套

每(mei)路有毒(du)氣體進氣蒸(zheng)汽管道(dao)可配(pei)不銹鋼材(cai)質的針(zhen)閥

進行管(guan)控面版(ban)上(shang)的旋(xuan)轉開(kai)關(guan)來上(shang)下調整(zheng)有毒氣體(ti)熱(re)度(du)

用戶規格:0~200sccm

流量的(de)高精準度:±1.5%

高負壓負壓軟件系統

所采用雙極旋(xuan)片(pian)正(zheng)空(kong)泵+分子結(jie)構泵,限制真空(kong)室能(neng)達(da)4.0*10^-4Pa

挽回(hui)真(zhen)空系統(tong)計,硬(ying)件配(pei)置(zhi)電阻(zu)器(qi)規+電離規

抽速:110L/S

降溫:風冷

主機電(dian)源:AC220V 50/60Hz

微(wei)波射(she)頻電(dian)源適配器操作(zuo)系(xi)統

打(da)印(yin)輸出輸出:0-300W

工作功率(lv)穩(wen)定(ding)性高度:±0.1%

頻(pin)射(she)主機電源(yuan)工作頻(pin)率:13.56MHz 平穩性±0.005%

更大反相(xiang)工率:120W     

微波射頻供(gong)電(dian)電(dian)子(zi)技術工作(zuo)輸(shu)出端口設置:UHF

放涼:風冷

外接電源:AC187-253V 50/60Hz

待選部件

混氣(qi)設備(bei),中、高真空度(du)系統小軟件,幾(ji)種剛玉、石(shi)(shi)英(ying)石(shi)(shi)砂坩(gan)堝,石(shi)(shi)英(ying)石(shi)(shi)砂管(guan),算機把握小軟件,無(wu)紙記錄(lu)卡儀,氧成分(fen)深入測(ce)試儀。





上海鉅晶精密儀器制造有限公司   |   
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